Strålrör T6

Denna strållinje innehåller en multifunktionskammare, benämnd SIGMA (Set-up for In-situ Growth, Materials modification and Analysis by ion beams). SIGMA inkluderar en elektronstråleförångare som möjliggör tunnfilmstillväxt in situ. Utrustningen kan arbeta i ett varierbart tryckområde, från UHV och uppåt (reaktiv tillväxt), och med varierbar substrattemperatur.

Kammaren har också en jonkälla för sputterrengöring och jonimplantation med låg energi (materialmodifiering) och en restgasanalysator (RGA) som kan arbeta under antingen deponering, modifiering eller analys av jonstrålar. Tunnfilmstillväxt och / eller modifiering kan också göras in-situ med jonstråleanalys, eftersom SIGMA är ansluten till det sjätte strålröret i Tandem-acceleratorn och har två PIPS-detektorer för RBS / EBS / NRA / ERDA, en snabb röntgenstråledetektor för PIXE och en (rörlig) germaniumdetektor med hög renhet (HPGe) för PIGE-mätningar.

Bastrycket i kammaren är vanligtvis lägre än 10-9 mbar. Alla parametrar, såsom tillväxtförhållanden, kammartryck, RGA- och IBA-datainsamling och provtemperatur, kan styras samtidigt.

skiss strålrör T6